لیست اختراعات محمد رضا پژوهنده
روش Spin Coating چندين دهه است كه براي بدست آوردن لايه هاي نازك و يكنواخت بر روي سطوح استفاده مي شود. اين روش به طور گسترده در صنعت الكترونيك به كار مي رود كه از جمله كاربرد هاي آن مي توان به ايجاد لايه نازك رزين براي الگو گذاري بر روي ويفر، ايجاد لايه هاي محافظ نظير پليمر در مراحل مختلف توليد مدار هاي مجتمع، پوشش نمايشگر هاي تخت و پوشش ضد بازتاب، توليد ديسك هاي فشرده و غيره اشاره كرد. براي پياده سازي اين روش به نحو احسن، نياز به دستگاهي بنام اسپين كوتر مي باشد كه تمامي نكات و ملزومات مورد نياز اين فرآيند را به دور از دخالت انسان و يا عوامل محيطي، به صورت كاملا اتوماتيك به انجام برساند. براي راه اندازي و كنترل اسپين كوتر نياز به يك واحد كنترل كننده و واسط هاي كاربري مناسب مي باشد بايد بتواند بر فرآيند نظارت كند، تغييرات لازم را در پروفايل به وجود آورد و همچنين امكان ذخيره سازي اطلاعات و آرشيو كردن آن ها را فراهم آورد. همچنين با استفاده از ارتباط از راه دور، كنترل سيستم و مديريت داده ها را ساده تر كند و بر روند گردش موتور و در نتيجه ضخامت رزين نظارت كند. همچنين اين سيستم نياز به يك بخش مكانيكي موثر و بدون لرزش دارد تا بتواند ويفر را در حين چرخش در سرعت بالا با استفاده از پمپ خلا، در جاي خود ثابت نگاه دارد و مانع از پخش نامنظم ماده رزين گردد. فرآيند Spin Coating به طور خلاصه شامل قرار دادن مقداري از مايع رزين بر روي ويفر و سپس چرخاندن ويفر با سرعت بسيار بالا مي باشد (شكل 1). شتاب گريز از مركز موجب پخش شدن يكنواخت مايع روي سطح ويفر مي شود. در مرحله اول به علت پيچيدگي ها و دقت بسيار بالايي كه براي كنترل اين فرآيند نياز است، اين فرآيند نيازمند سيستمي خواهد بود كه توانايي كنترل و تنظيم يكايك مراحل و متغير هاي آن را داشته باشد. در غير اين صورت حتي اندكي تغيير در ضخامت و يا ايجاد شدن ناهمواري بر روي لايه نشانده شده منجر به از بين رفتن كل فرآيند مي شود. اين مراحل و متغير ها شامل تنظيم و كنترل دقيق سرعت چرخش ويفر به صورت خودكار، ايجاد مراحلي با سرعت و شتاب متغير براي كاهش رزين مصرفي و افزايش يكنواختي لايه نشاني، امكان برنامه ريزي راحت براي فرآيند هاي خاص توسط كاربر، نگه داري ويفر بدون لغزش بر روي دستگاه در شتاب و سرعت هاي بسيار بالا، دور نگه داشتن شرايط محيطي نظير جريان هوا و رطوبت و يا ذرات معلق از فرآيند و غيره مي شود.
موارد یافت شده: 1